Cách tử ba chiều là các phần tử quang học nhiễu xạ dựa trên nguyên lý chồng chất kết hợp quang học, tận dụng sự giao thoa của hai chùm tia laser để tạo thành các vân. Chúng có thể được chế tạo trên các vật liệu cảm quang bằng công nghệ tiếp xúc với trường giao thoa quét. Công nghệ này bao gồm việc phủ một vật liệu cảm quang lên nền thủy tinh quang học, sau đó là tiếp xúc và khắc nhiễu bằng tia laser để tạo ra các cách tử truyền hoặc phản xạ. Mật độ rãnh tối đa đạt 4300 dòng/mm và diện tích chế tạo tối đa là 1500mm × 420mm. So với cách tử viết nguệch ngoạc truyền thống, chúng có những ưu điểm như không có đường ma, ánh sáng lạc thấp (10⁻⁴) và độ phân giải cao (đạt giá trị lý thuyết là 80%~100%). Hiệu suất nhiễu xạ có thể tăng lên 95% bằng công nghệ khắc ion.
Cách tử ba chiều được sử dụng rộng rãi trong các thiết bị phân tích quang phổ, kính viễn vọng thiên văn, tia laser, thông tin quang học và phản ứng tổng hợp giam giữ quán tính, với các ứng dụng điển hình bao gồm vệ tinh "Xihe", hệ thống AR-HUD và kính AR cho các lĩnh vực chuyên biệt.
