Mật độ vạch: Ảnh hưởng trực tiếp đến sự phân tán quang phổ, thường dao động từ 300-3600 vạch/mm. Cách tử mật độ-cao yêu cầu sử dụng nguồn tia cực tím hoặc tia X.
Hiệu suất nhiễu xạ: Phần trăm năng lượng bị nhiễu xạ theo thứ tự mục tiêu đối với một bước sóng ánh sáng cụ thể. Lưới phản chiếu chất lượng cao-có thể đạt được hiệu suất trên 95% trong dải ánh sáng khả kiến.
Phạm vi bước sóng: Được xác định bởi vật liệu cách tử. Cách tử được phủ nhôm kim loại có thể bao phủ 200-2000nm, trong khi cách tử màng điện môi nhiều lớp có thể mở rộng phạm vi đến tia cực tím sâu (121nm) hoặc hồng ngoại trung bình (20μm).
Dung sai góc: Độ lệch cho phép của góc ánh sáng tới so với giá trị lý thuyết, điển hình là ±0,5 độ, đòi hỏi độ chính xác lắp đặt cơ khí cực cao.
